本报讯 10月9日，记者从成都高新区获悉，由成都太科光电技术有限责任公司承担的国家重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”正式启动。据悉，该项目是四川省成功申报的“十三五”期间第一个，同时也是目前四川省唯一一个重点研发计划项目，有望打破长期以来被国外公司垄断和价格壁垒的格局。预计2020年实现产业化，年产值将达人民币上亿元，同时将带动相关产业的发展。
据了解，该项目是国家“十三五”重大科学仪器设备开发项目，由太科光电牵头，协同国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业形成产、学、研、用相结合的项目团队，以仪器系统化与集成化结合多表面干涉重叠条纹分离算法为突破口，解决高精度超光滑表面无损检测的关键技术瓶颈，实现高端超光滑表面无损检测仪器国产化，替代国外同类产品，打破国外公司的技术垄断和价格壁垒。
该仪器可以广泛应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片TTV、弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统。预计将取得或申请发明专利、软件著作权、相关标准等25项，发表相关论文20余篇。
项目完成后，将研制数台超光滑表面无损检测仪，形成具有自主知识产权的系列化产品和关键技术与产业化路线，为未来产业化发展提供工艺路线。预计项目验收后三年内，完善仪器产品化所有流程，基本形成产品化的标准工艺流程，年产值将达上亿元。该项目计划投入人民币5200万元，由于该项目是国家“十三五”重大科学仪器设备开发项目，因此目前已获得国家科技部2000万元、成都高新区200万元资金支持。
(记者 杨成万)
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